El MiCS-6814 es un sensor MOS compacto con tres elementos sensores totalmente independientes en un mismo encapsulado. Es un sensor MEMS robusto para la detección de la contaminación producida por escapes de automóviles y para olores agrícolas/industriales.
Configuración del sensor
La estructura del sensor de gas de silicio consiste en un diafragma micro-mecanizado con precisión con una resistencia calefactora integrada y la capa sensora en la parte superior.
El MiCS-6814 incluye tres chips sensores con calentadores y capas sensibles independientes. Un chip sensor detecta gases oxidantes (OX), el otro sensor detecta gases reductores (RED) y el otro detecta NH3. Las conexiones internas se muestran arriba.
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El MiCS-6814 incluye tres chips sensores con calentadores y capas sensibles independientes. Un chip sensor detecta gases oxidantes (OX), el otro sensor detecta gases reductores (RED) y el otro detecta NH3. Las conexiones internas se muestran arriba.
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